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理片器/倒片器/挑片器/真空吸笔

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非接触式高精度表面测量仪

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共焦- 干涉三维测量仪

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电子束蒸发/磁控溅射/RIE等离子刻蚀/PECVD沉积系统

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离子注入机

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