v 公司简介

        FRT公司成立于1995年，专业生产高性能3D表面测量仪器。通过设计研发各种功能传感器，根据不同的测量任务和测量范围选择不同的传感器，按需求组合成不同规模的系统，配套使用自主开发的测量软件，可广泛应用于测量单层及多层膜厚、TTV、应力、形貌、结构、缺陷、粗糙度、平整度、凹凸尺寸、弯曲度、翘曲度、磨损度、台阶高度等测量。

v 共焦显微镜测量原理

可见光通过物体表面上，通过移动透镜聚焦，然后重新检测，并用检测器捕获。如果物体的表面在光束的焦点处，在这个焦点处接收到最大信号。通过在Z方向上逐渐移动焦点（透镜），可以获得高度的非常精确的信息。这种点状原理可以延伸到菲尔德。用旋转尼普罗圆盘测量三维的方法得到一个完整区域的结构和粗糙度。

v 白光干涉仪测量原理

使用FRT WLI PL相机以极接近传统白光干涉方式进行干涉图案拍摄。通过由样品反射的光与参考反射镜反射的光的相干迭加产生了干涉图案。为此FRT WLI PL使用特殊照明光束和宽带光源的干涉仪设置。

光源的短相干长度(干涉现象)导致空间受限的干涉图案幅度从中心向左和向右方向减小。这种特定模式的最大优点就是其重心可以直接并精确地分配给物体内的z轴高度。

因此精确的形貌测量是没有问题的。对干涉图案的详细分析最终使分辨率能达到几个纳米。

通过垂直扫描获得的高度信息，也就是逐步移动的传感器在每个步骤中都拍摄图像。然后将图像组合成样品的最终图像。

v MicroSpy® Series
MicroSpy® Topo DT是一种融合了共焦和干涉测量技术的优点于一体的3D测量仪器。根据测量需求，它可以作为共焦显微镜也可以作为白光干涉仪使用。因此可以同时区分光滑的样品和结构复杂的样品，快速而且不破坏样品。研究人员在产品开发和生产控制过程中会经常使用这种表面测量仪器。

v 测量功能

   粗糙度、台阶高度、磨损、缺陷检测、三维立体度、平整度、起伏度、表面结构、膜层翘曲度凹凸、形貌。

v 优势

性价比高，持久耐用，维修服务费用低；

两种模式下的分辨率和测量速度都极高，微米和纳米级别分辨率的3D测量，用于最高要求的工业和研究的表面测量仪器6角塔形结构使它可以同时固定不同的样品，通过简单的旋转就能快速改变位置。

v 同系列产品

MicroSpy® Topo：共聚焦非接触式显微镜，在纳米范围内具有出色的高分辨率，可快速地表征3D形貌，粗糙度和轮廓，轻松处理高反射性、纹理和透明表面。

MicroSpy® Mobile：便携式表面测量装置，由于其重量轻，适用于大型零件、车辆、柱面、卷轴、玻璃窗等的表面粗糙度、轮廓、形貌和厚度等直接测量。可根据不同的测量范围选择不同的传感器。

MicroSpy® Profile：光学轮廓仪，非接触式测量2D和3D表面，可快速可靠检测各种从光滑到非常粗糙、从无光泽到有光泽甚至透明的表面形貌。可根据不同的测量范围选择不同的传感器。

MicroSpy® FT：一种光学非接触测量仪器，用于在可见和不可见光谱范围内透明薄膜厚度的简单测量。可根据不同的测量范围选择不同的光学传感器。