北京特博万德加工、供应各种类型单晶硅片,以及苛刻要求的高质量硅片。
生长方式:直拉(CZ)、MCZ等;
尺寸:1”,2”, 3”,4”,5”,6”,8”,12”和特殊非标直径及异形硅片;
表面:单抛、双抛、研磨等;
晶向:<100>、<111>、<110>晶向及偏角度和特殊晶向;
厚度:超薄25um、50um、100um、200um等,常用厚度:280um-1mm;超厚:>1mm;
导电类型:N型、P型、本征半绝缘;
电阻率:重掺杂<0.0015Ω.cm,轻掺杂1~100Ω.cm,非掺>1000~>20000Ω.cm;
用途:各种指标,满足各种应用。如:PVD/CVD/热氧化/氮化等镀膜用衬底;磁控溅射生长样品;分子束外延生长的基底;SEM扫描电镜、透射电镜、原子力AFM、拉曼光谱、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底;X射线分析;刻蚀、键和、光学透过、透镜、器件等;
工艺:可加工氧化、 氮化、镀金属膜(银Ag、金Au、铂Pt、铜Cu、钛Ti、镍Ni);
供货能力:大量库存现货,种类齐全,当天发货!
加工能力:各种规格可加工,为客户量身定制!工期短!
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单晶硅棒 |
1-12寸单晶硅片 | 超薄硅片 | 超厚硅片 | ||||
生长方式 |
区熔(FZ)、中子辐照区熔(NTDFZ)等 |
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直径 |
2英寸、3英寸 |
4英寸、5英寸 |
6英寸 |
8英寸 |
12英寸 |
晶向 |
<100><111> |
<100><111><110>特殊晶向 |
<100><111> |
<100><111> |
<100> |
厚度(um) |
>50,280,400,500,1000,2000, |
200,450,500,525,1000,2000,3000,5000, |
625,650,675,1000,1500, |
650,700,725,1200,1500, |
700,775,as required |
电阻率(Ω.cm) |
<1,>1,>100,>1000,>10000,>20000 |
<1,>1,>100,>1000,>10000,>20000 |
<1,>1,>100,>1000,>10000,>20000 |
>1,>100,>1000,>10000 |
>1,>100,>1000,>10000 |
TTV(um) |
<10,<5,<3 |
<10,<5,<3 |
<10,<5,<3 |
<10,<5,<3 |
<10,<5 |
Bow(um) |
<20 |
<20 |
<30 |
<40 |
<50 |
Warp(um) |
<20 |
<20 |
<30 |
<40 |
<50 |
粗糙度(n m) |
<0.2 |
<0.2 |
<0.2 |
<0.2 |
<0.2 |
颗粒度 |
<10@0.3 |
<10@0.3 |
<10@0.3 |
<20@0.2 |
<20@0.3 |