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加工镀金/镀铂/镀铜/镀铝/镀镍等金属工艺
来源: | 作者:北京特博文宣部 | 发布时间: 2008-02-19 | 110 次浏览 | 分享到:




镀金硅片 镀铂硅片 镀铜硅片 镀银硅片

镀膜工艺  

标准磁控溅射,另外可提供电子束蒸发、PECVD等;

金属镀膜材料

Au金、Pt铂、Ag银、Al铝、Ni镍、Ti钛、Cr铬、Cu铜等;

镀膜基底

硅片、石英玻璃、蓝宝石片等;

镀膜厚度  

15 nm - 1000 nm,或者更厚;

基底尺寸    

6英寸向下兼容,部分8英寸和12英寸;

标准结构   

基底~粘结层~金属层

粗糙度      

选用超高平整度基底,镀膜均匀性高,整体粗糙度好

牢固性    

超声清洗,膜层不脱落。