镀膜工艺
标准磁控溅射，另外可提供电子束蒸发；
金属镀膜材料
Au金、Pt铂、Ag银、Al铝、Ni镍、Ti钛、Cr铬、Cu铜等；
镀膜基底
硅片、石英玻璃、蓝宝石片等；
镀膜厚度
15 nm - 1000 nm，或者更厚；
基底尺寸
6英寸向下兼容，部分8英寸和12英寸；
标准结构
基底~粘结层~金属层；
粗糙度
选用高平整度基底，镀膜均匀性高，整体粗糙度好；
牢固性
超声清洗，膜层不脱落。
