在加工过程中，晶圆经常被置于冷热变化的环境中。较低的线性热膨胀系数使得BOROFLOAT® 玻璃晶圆能够轻松应对升高的温度，更重要的是当热量突然变化时，晶圆不会破裂或翘曲。

@载体晶圆具有极高的透过率，适用于特殊的紫外键合应用

深紫外光在相应激光波段范围的透过率是这种晶圆解键合技术可行性和效率的关键。激光活化是通过采用248nm或308nm的准分子激光器辐照实现。超低铁含量0.5mm厚的BOROFLOAT® 载体晶圆在308mm波段的透过率超过90%，即使在248nm波段，其透过率仍大于35%，明显优于其它薄玻璃材料。

@酸、碱和有机物对BOROFLOAT®玻璃晶圆几乎不产生不良影响

在高度复杂的化学腐蚀和化学机械抛光过程中，玻璃晶圆会长时间接触到很多化学物质，因此极高的化学稳定性是玻璃晶圆的另一个关键特征。在某些技术领域，特别是有掩模的化学腐蚀技术中，为了获得高清晰度的表面沟道，通常采用具有极强的化学腐蚀剂。而具有高化学稳定性的BOROFLOAT® 33玻璃晶圆可以展现完美的外形设计结构和极其精确的控制沟道深度。