设备功能

1 使用石英管， 保证腔体内环境纯洁，对晶体及器件无污染；
2 极限真空度高， 腔体内残留气体少， 气氛纯度高；
3 水冷主要用于冷却设备密封部位 O 型圈及设备外表面， 延长密封圈使用寿命， 同时避免人员烫伤；风冷主要用于冷却石英管；
4 取料方式： 下盖取料， 操作简便， 节省人力。

设备结构组成

碳化硅单晶生长炉主要包括：上盖组件、腔室组件、加热保温组件、下盖升降组件、真空组件、气路组件、水冷组件、电气控制系统及工艺系统等。

设备特点

采用感应加热方式，设备进行了先进合理的设计，配套产品和功能元器件能满足长期、稳定、可靠使用的要求；设备节能效果好，连续工作高稳定性和良好精度保持性；控制精度高，设备使用、操作、维护、维修方便，且具有美观的造型。